射頻放電微等離子體的結構上有哪些特點？水蜜桃免费视频蜜桃视频网站观看免费网页機介紹
文章導讀：水蜜桃免费视频蜜桃视频网站观看免费网页機在之前文章已經對射頻大氣壓輝光放電有所介紹，那麼，要是在射頻放電中，將放電的間隙進一步縮小到微等離子體尺度內，即為1mm左右，乃至到了幾百微米的量級，射頻微等離子體又會產生哪些新的特點呢？
如下圖所示，是在同樣的電流條件下，射頻微等離子體鞘層區與等離子體區的分布比例。在給定電流密度0.06A/cm2，當放電間隙慢慢增加，通過實驗和計算都表明鞘層開始慢慢增加，而當極板間隙增加多於500μm後，鞘層厚度基本保持在215μm不變。而對於等離子體區的厚度，其從100μm到900μm一直在單一性提升，水蜜桃免费视频蜜桃视频网站观看免费网页機介紹。
通過上圖能夠知道的是，當放電間隙小於500μm時，放電等離子體由傳統的輝光放電結構轉化為一種鞘層主導的結構，即鞘層成為放電空間的主要部分。同時，數值模擬還顯示，在鞘層主導的放電結構中，一整個放電空間無法保持電中性，而是呈現為電正性，如下圖所示。
要是想在射頻微等離子中繼續獲得正常的輝光結構，保障放電間隙內的電中性，提高放電頻率是一種可行的方法。下圖給出了在不同頻率下兩個周期電子密度的時空分布。圖中顯示，當頻率為13.56MHz時，僅僅在電極附近才有大量的電子，其密度近似3.06×1011cm-3。
而當頻率增加到27.12MHz時，產生的3.15×1011cm-3的電子密度在極板間由於外加電壓的改變來回振蕩，從一個極板到另一個極板，基本占據了一整個間隙。由於頻率進一步增加到54.24MHz，在放電間隙產生的高密度電子，形成一個穩定的中性等離子體區。這些數據表明，由於頻率的提升，放電結構也發生了變化，傳統的輝光結構也能夠產生。
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