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確保設備放置在幹燥通風環境,周圍無易燃易爆物品,接地線路連接牢固(防止射頻幹擾或漏電)。
操作人員佩戴防靜電手環、防護眼鏡(避免直視等離子輝光),嚴禁佩戴金屬飾品(防止射頻感應發熱)。
設備部件檢查
真空係統:檢查真空泵油位是否在刻度線之間,真空泵進氣口、腔體密封圈是否完好(無破損、無異物),確保腔體密封性能。
氣源係統:確認氬氣、氧氣、氮氣等工作氣體壓力正常(通常 0.4-0.6MPa),管路無漏氣,質量流量控製器(MFC)顯示正常。
射頻係統:檢查射頻電源、阻抗匹配器連接線是否鬆動,確保自動匹配功能處於開啟狀態。
工件預處理
清除工件表麵的大塊油汙、灰塵等頑固雜質(可先用無塵布擦拭),避免大量汙染物進入腔體影響真空度和清洗效果。
將工件放入專用工裝夾具(避免直接接觸腔體電極),複雜結構件需確保待處理麵朝上或完全暴露。
3-5 分鍾,大型腔體 10-15 分鍾),部分設備支持 “真空度達標自動觸發下一步”。
抽真空階段:真空計數值應平穩下降,無明顯波動(波動大則可能腔體漏氣);
等離子激發階段:腔體內應出現均勻輝光(氬氣為淡紫色,氧氣為淡藍色),無局部電弧或打火現象;
處理階段:射頻電源功率、氣體流量顯示穩定,無報警提示。
試樣處理完成後,待腔體自然泄壓(或緩慢破真空,避免氣流衝擊工件),取出試樣檢測效果:
清潔效果:用顯微鏡觀察表麵是否有殘留雜質,或通過接觸角測量儀檢測(清潔後接觸角應顯著降低);
活化效果:滴一滴去離子水在工件表麵,若水膜快速鋪展(接觸角≤30°)則達標;
刻蝕效果:用台階儀測量刻蝕深度,確認是否符合預期。
效果不達標時的參數調整技巧:
表麵能不足 → 增加氧氣比例、延長處理時間、提高射頻功率;
工件表麵損傷 → 降低功率、縮短時間、增大真空度;
處理均勻性差 → 檢查電極是否汙染、調整氣體分布方式、增加工件旋轉(若設備支持)。
啟動 自動批量模式,設備將按 “抽真空→通氣體→射頻激發→處理→破真空→開蓋” 的流程自動運行。
運行中實時巡檢:
每 30 分鍾觀察一次等離子輝光狀態、真空度、射頻功率,避免參數漂移;
批量處理時,每隔 2-3 批次抽樣檢測一次,確保處理效果一致性;
若出現 射頻報警、真空度不達標、輝光熄滅 等故障,立即暫停運行,排查原因(如密封圈破損、氣體壓力不足、電極汙染)。
先停止上料,待腔體內所有工件處理完畢後,關閉射頻電源和氣體閥門;
繼續運行真空泵 5-10 分鍾,抽淨腔體內殘留氣體,再關閉真空泵;
斷開設備總電源,清潔腔體內部(用無塵布蘸酒精擦拭電極和腔壁,去除殘留汙染物)。
日常維護要點
每日維護:清潔腔體密封圈(塗抹少量真空脂)、排放氣源過濾器積水、檢查真空泵油位;
每周維護:校準質量流量控製器、檢查射頻連接線是否鬆動、清理真空泵進氣濾芯;
每月維護:更換真空泵油(或濾芯)、檢查電極損耗情況(內電極式設備電極每 6-12 個月更換一次);
長期停機:排空管路內殘留氣體,密封腔體進氣口,防止灰塵進入。
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一、 開機前準備
環境與安全檢查確保設備放置在幹燥通風環境,周圍無易燃易爆物品,接地線路連接牢固(防止射頻幹擾或漏電)。
操作人員佩戴防靜電手環、防護眼鏡(避免直視等離子輝光),嚴禁佩戴金屬飾品(防止射頻感應發熱)。
設備部件檢查
真空係統:檢查真空泵油位是否在刻度線之間,真空泵進氣口、腔體密封圈是否完好(無破損、無異物),確保腔體密封性能。
氣源係統:確認氬氣、氧氣、氮氣等工作氣體壓力正常(通常 0.4-0.6MPa),管路無漏氣,質量流量控製器(MFC)顯示正常。
射頻係統:檢查射頻電源、阻抗匹配器連接線是否鬆動,確保自動匹配功能處於開啟狀態。
工件預處理
清除工件表麵的大塊油汙、灰塵等頑固雜質(可先用無塵布擦拭),避免大量汙染物進入腔體影響真空度和清洗效果。
將工件放入專用工裝夾具(避免直接接觸腔體電極),複雜結構件需確保待處理麵朝上或完全暴露。
3-5 分鍾,大型腔體 10-15 分鍾),部分設備支持 “真空度達標自動觸發下一步”。

二、 試樣調試
放入 1-2 件試樣,啟動 單次運行模式,全程觀察設備狀態:抽真空階段:真空計數值應平穩下降,無明顯波動(波動大則可能腔體漏氣);
等離子激發階段:腔體內應出現均勻輝光(氬氣為淡紫色,氧氣為淡藍色),無局部電弧或打火現象;
處理階段:射頻電源功率、氣體流量顯示穩定,無報警提示。
試樣處理完成後,待腔體自然泄壓(或緩慢破真空,避免氣流衝擊工件),取出試樣檢測效果:
清潔效果:用顯微鏡觀察表麵是否有殘留雜質,或通過接觸角測量儀檢測(清潔後接觸角應顯著降低);
活化效果:滴一滴去離子水在工件表麵,若水膜快速鋪展(接觸角≤30°)則達標;
刻蝕效果:用台階儀測量刻蝕深度,確認是否符合預期。
效果不達標時的參數調整技巧:
表麵能不足 → 增加氧氣比例、延長處理時間、提高射頻功率;
工件表麵損傷 → 降低功率、縮短時間、增大真空度;
處理均勻性差 → 檢查電極是否汙染、調整氣體分布方式、增加工件旋轉(若設備支持)。
三、 正式處理
試樣效果達標後,將參數保存為配方(如 “ABS 塑料活化 - 配方 1”),後續同類型工件可直接調用。啟動 自動批量模式,設備將按 “抽真空→通氣體→射頻激發→處理→破真空→開蓋” 的流程自動運行。
運行中實時巡檢:
每 30 分鍾觀察一次等離子輝光狀態、真空度、射頻功率,避免參數漂移;
批量處理時,每隔 2-3 批次抽樣檢測一次,確保處理效果一致性;
若出現 射頻報警、真空度不達標、輝光熄滅 等故障,立即暫停運行,排查原因(如密封圈破損、氣體壓力不足、電極汙染)。

四、 停機操作與日常維護(延長設備壽命,保障下次使用)
正常停機流程先停止上料,待腔體內所有工件處理完畢後,關閉射頻電源和氣體閥門;
繼續運行真空泵 5-10 分鍾,抽淨腔體內殘留氣體,再關閉真空泵;
斷開設備總電源,清潔腔體內部(用無塵布蘸酒精擦拭電極和腔壁,去除殘留汙染物)。
日常維護要點
每日維護:清潔腔體密封圈(塗抹少量真空脂)、排放氣源過濾器積水、檢查真空泵油位;
每周維護:校準質量流量控製器、檢查射頻連接線是否鬆動、清理真空泵進氣濾芯;
每月維護:更換真空泵油(或濾芯)、檢查電極損耗情況(內電極式設備電極每 6-12 個月更換一次);
長期停機:排空管路內殘留氣體,密封腔體進氣口,防止灰塵進入。
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