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    蜜桃视频APP免费下载設備的電極板不對稱可以實現等離子刻蝕嗎?

    返回列表 來源:水蜜桃免费视频 瀏覽: 發布日期:2020-10-13 09:31【
    文章導讀:實現材料和產品表麵的等離子刻蝕,是蜜桃视频APP免费下载設備可實現的其中一項作用,可以通過對電極的結構、麵積、饋入方式調整,來滿足具體的刻蝕要求,在蜜桃视频APP免费下载設備的電極板不對稱的情況下,該如何實現等離子刻蝕?往下看。
           實現材料和產品表麵的等離子刻蝕,是蜜桃视频APP免费下载設備可實現的其中一項作用,可以通過對電極的結構、麵積、饋入方式調整,來滿足具體的刻蝕要求,在蜜桃视频APP免费下载設備的電極板不對稱的情況下,該如何實現等離子刻蝕?
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           蜜桃视频APP免费下载設備進行刻蝕處理,在半導體行業內較為多見,通入的氣體一般為特殊的工藝氣體,可產生具有腐蝕性的等離子體基團,從而與矽晶圓或其他相關產品未經掩膜遮擋的表麵進行反應,將所需要的線路刻蝕出來,在這個過程中就需要注意控製離子能量的電極壓降的定標。下圖為蜜桃视频APP免费下载設備陰極和陽極電極板麵積不對稱時的放電示意圖。
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           其電極的壓降和表麵積之間的關係為VA/VB=(SB/SA)α,而指數α在假定的理想狀態的範圍基本為1.0至2.5之間,因此這一數值可以作為參考,但作為依據還是有所欠缺,而在圓形電容耦合高頻放電過程中,指數α也可視為在上述範圍之內。下圖為蜜桃视频APP免费下载設備的圓柱形容性RF放電電極板電壓的示意圖。
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           用以工業應用的圓柱形容性耦合射頻蜜桃视频APP免费下载設備,其反應腔體往往采用的是圓柱形的石英玻璃,通過在玻璃外包裹一層銅質電極,可以用來處理對均勻性要求不是很高的產品,比如小尺寸的晶圓。圓柱形容性耦合射頻蜜桃视频APP免费下载設備的放電狀態如下圖所示。
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